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Quartz Glass, Silica Glass, Fused Silica, Fused Quartz
2005-01-20 14:31:35
순수한 규산(SiO2)로 이루어진 유리로 불순물이 수백ppm 이하인 고순도의 규산을 고온(약 2,000℃ 이상)에서 용융하여 제조한 유리. 일반적으로 천연광물 형태로 존재하는 순수한 규산 광물을 석영(quartz)이라 하고, 이들 중 투명한 결정을 수정이라고 하는데 인위적으로 제조하고 있는 석영유리와 구분됨. Fused Quartz는 석영유리 중 순도가 아주 좋은 천연석영(quartz)을 용융하여 유리로 만든 것이며, Fused Silica는 정제공정을 통하여 불순물을 제거한 규사를 용융시켜 제조한 것을 말함. 이외에 사염화규소(SiCl4) 등과 같은 규소를 함유한 기체 혹은 액체상태의 화합물을 고온으로 용해하여 만든 것을 합성 석영유리(synthesized fused silica)라고 함. 석영유리는 연화온도가 1,600℃이상이며, 열팽창계수도 5.5 (x10-7/℃) 정도로 열충격저항이 우수하여 열선보호관, 이화학기구, 특수 조명용관으로 사용되며 반도체 제조공정에서 Si 웨이퍼(wafer)를 운반하는 기구로도 사용됨 석영유리는 전기적인 저항도(electrical resistivity)가 1016Ωcm로 일반 소다석회 유리(1012Ωcm) 보다 높고 유전상수(dielectric constant)도 3.82로 일반 유리의 8에 비해 매우 낮으며, 밀도 약 2.20 g/cm3 정도, 영율 73,900 kg/mm2, 포아슨비 0.17, 압축강도 117,000 kg/cm2, 인장강도 510 kg/cm2, 모오스 경도 5.5 등으로 일반 유리 보다 우수한 강도를 갖고 있음. 굴절률은 약 1.42 정도, 자외선 흡수단이 약 160nm 정도로 자외선 투과율이 높아 자외선 투과용 광학용 소재로 사용됨.
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